Die Institutsgründung durch Prof. Kurt Schwabe erfolgte im November 1945. Das Institut wurde von ihm bis zu seinem Tode am 4. Dezember 1983 geleitet.

Die Institutsleitung wurde am 27. Januar 1984 durch Prof. Heiner Kaden übernommen, der bis zum 5. November 1993 als Direktor des Instituts (Forschungsinstitut „Kurt Schwabe“ (FIS)) wirkte.

Am 6. November 1993 erfolgte die Neugründung des Instituts als Landesinstitut des Freistaates Sachsen in seiner heute gültigen Rechtsform als gemeinnütziger eingetragener Verein unter dem Namen „Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e.V. (KSI)“.

Der Gründungsdirektor ist Prof. Reinhard Schmidt. Er wurde als Vorstand bestellt und als kommissarischer wissenschaftlicher Direktor eingesetzt. Diese Funktionen übte er bis zum 31. März 1999 aus.

Vom 1. April 1999 bis zum 31. März 2010 war Prof. Hans Ulrich Guth Vorstand und Direktor des KSI.

Er übergibt diese Ämter am 1. April 2010 an Prof Michael Mertig, der diese bis zum 31. Juli 2024 wahrnimmt.